汽相超声波清洗器构成和硅片超声波清洗器

　　要提高超声波清洗器的功率怎么做?这个是很多企业都想知道的，这要看已有的功率发生器电路是什么形式的，是不是有小改造的余地，比如：发现有将近失效的器件，特别是电解电容器，更换试试。用降压变压器的，加高次级电压试试等等。最主要的挖潜途经是重调一下输出匹配。因为目前的超声清洗几乎都是采用串联谐振的工作方式。汽相超声波清洗机就是气相机，一般气相机槽位分为三槽到5槽。

　　组成：主要由超声波换能器、发生器，冷排 管、压缩机组，循环泵、油水分离器、加热系统，电控箱几个主要元件组成组成: 在三槽式清洗机基础上增加一级超声波清洗。

　　工位：三槽顺序一般是： 超声+洗剂清洗 超声+市水清洗 IPA烘干 (二槽比一槽高些向一槽溢流市水以将浮在表面的油渍溢流走)

　　四槽顺序一般是： 超声+洗剂清洗 超声+洗剂清洗超声+市水清洗 IPA烘干

　　五槽顺序一般是： 超声+洗剂清洗 超声+洗剂清洗超声+市水清洗 超声+市水清洗 IPA烘干

　　注明：虽然是一体机，一般前面的几个槽上部一个大的开口，(用的洗剂是挥发的性的话就会公用一组冷排管)，最后一个IPA烘干槽独立的用一组冷拍管。

　　下面介绍下硅片超声波清洗器在半导体材料的制备过程中，每一道工序都涉及到清洗，而且清洗的好坏直接影响下一道工序，甚至影响器件的成品率和可靠性。因此，硅片的清洗引起了专业人士的重视。以前很多厂家都用手洗的方法，这种方法人为的因素较多，一方面容易产生碎片，经济效益下降，另一方面手洗的硅片表面洁净度差，污染严重，使下道工序化抛腐蚀过程中的合格率较低。同时，由于磨料中的金刚砂粒径较大，造成磨片后的硅片破损层较大，悬挂键数目增多，极易吸附各种杂质，如颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格。

　　超声波清洗设备除锈去氧化皮工艺以下几点：

　　1.清洗氧化皮

　　a. 除锈液 ：(TY-7005)20%+水

　　b. 清洗温度：50度-60度

　　c. 超声波(1.5KW 316L)

　　d. 时间：10-20分钟

　　2. 冷水漂洗

　　a. 水(室温)

　　b. 超声波

　　c. 时间：5分钟

　　3. 防锈液漂洗

　　a. 防锈液TY-P748，5%+水(95%)

　　b. 超声波

　　c. 时间：3-5分钟

　　4. 干燥

　　5. 防锈油侵泡1-2分钟

　　杭州萧山余祝超声波设备厂是一家从事专业超声波清洗器研制、开发、生产为一体的企业，超声清洗技术是现代工厂工业零件表面清洗的新技术，在未来的企业生产中将取代传统的人工清洗、冲洗和煤油清洗，已广泛用于电镀、离子镀膜、汔车零件等行业，超声波清洗机厂家咨询电话：0571-83513235。

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